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テスト機特長紹介 【 Capillary Coater 】

CAP Coater 大型基板タイプ

ガラス基板への高精度薄膜塗布装置

本機は、FPD業界向けの大型ガラス基板への塗布用途として開発した毛細管現象を利用する塗布装置です。

本機は、レジスト使用効率95%以上の省レジスト化を実現した、他に類をみない高精度の薄膜塗布装置です。

  • 本格的なスリットコータ、レジスト使用効率95%以上
  • 大型ガラス基板への高精度塗布が可能、塗布精度±2%以内
  • 毛細管現象利用でガラス基板と塗布ノズルは非接触
  • 下面塗布方式でガラス基板はチャックテーブルに吸着され反転
  • 乾燥は減圧乾燥、ホットプレート方式の対応が可能
CAP Coater 大型基板タイプ
対象用途
  • 液晶用カラーフィルタ
  • 有機EL
  • 耐環境膜
基板サイズ Max.800×950mm 塗布膜厚 0.05〜5.0μm (Dry)
基板厚み 0.7〜8.0mm 適応粘度 Max.30mPa・s
機械速度 0.2〜5.0m/min 必要液量 Min.4,000cc

Continuous Capillary Coater 連続フィルムタイプ

真空設備を必要とせずに薄膜を連続塗布

本機は、当社が得意とする高分子フィルムなどの連続シートへの安定走行技術・乾燥技術と、毛細管現象を利用したキャップコーターの技術を合わせて開発された、連続シート用の高精度の薄膜塗布装置です。

真空設備を必要とせずに薄膜を連続塗布することが可能です。

  • 塗布精度±2%以内
  • 乾燥は温風乾燥・UV装置
M-200C 連続式キャピラリーコーター
対象用途
  • 液晶用カラーフィルタ
  • 有機EL
  • 耐環境膜
ロール幅 400mm 塗布膜厚 約0.05〜5.0μm (Dry)
機械速度 0.2〜20m/min 適応粘度 Max.30mPa・s
処理温度 Max. 150℃ 必要液量 Min.1,000cc

Capillary Coater 小型基板&小容量タイプ

ナノオーダの塗布膜厚で±2%以内の精度

本機は、省エネルギー・省レジストをターゲットに、大型基板タイプの技術を改善した毛細管現象利用の小型高精度薄膜塗布装置で、液晶パネル・カラーフィルタ、有機ELパネル等に最適な塗布装置です。

液槽を用いずに小型タンクから塗液を供給することで、塗液の使用効率は高いまま微量で塗膜形成を可能にし、ナノオーダの塗布膜厚で±2%以内の精度を誇ります。

本機テストを通じて生産装置化が図られています。

  • 小型タンク採用による必要液量の極小化
  • ラボ用途から大型生産機まで対応
  • 運転条件がデジタル表示されテストデータ収集が容易
Capillary Coater
対象用途
  • 液晶用カラーフィルタ
  • 有機EL
  • 耐環境膜
基板サイズ Max.150×200mm 塗布膜厚 0.05〜5.0μm(Dry)
基板厚み 0.5〜4.0mm 適応粘度 Max.30mPa・s
機械速度 0.3〜6m/min 必要液量 Min.50cc

Capillary Coater Range 有機EL対応タイプ

有機EL層の塗布・乾燥・熱処理・環境プロセス

本機は、小型基板・小容量タイプのキャピラリーコータをクリーン度や湿度、酸素濃度等さらに厳しい環境が要求される液晶パネル、カラーフィルタ、有機ELパネル等に特化できるようグローブボックス内に収納した塗布装置です。

グローブボックス内にはホットプレートや自動化のための搬入ロボットを搭載しています。

設備コストは真空装置の1/3以下、また塗布液の使用効率が95%以上というコストパフォーマンスに優れた成膜プロセスです。

  • 小型タンク採用による必要液量の極小化
  • ラボ用途から大型生産機まで対応
  • 運転条件がデジタル表示されテストデータ収集が容易
CAP Coater 有機EL対応タイプ
対象用途
  • 液晶用カラーフィルタ
  • 有機EL
  • 耐環境膜
基板サイズ Max.150×200mm 適応粘度 Max.30mPa・s
基板厚み 0.5〜4.0mm 必要液量 Min.50cc
機械速度 0.3〜6m/min 湿度 20%以下
塗布膜厚 0.05〜5.0μm  (Dry) 酸素濃度 5%以下

お問合せ先

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